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該型號PECVD為整體精簡款,綜合了國內大多數廠家的管式PECVD系統的優點,觸摸屏集中一鍵控制,實驗證明此結構沉積速度快,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂。而且控制部分采用了自主研發的實驗電爐AIO全自動智能控制系統,使得操作更加簡便,功能更加強大。
主要特點:
1. 管內真空度自動平衡——管內真空度實時監測,自動平衡。PECVD工藝要求石英管內真空度通常在0.1~100Pa之間,該型號PECVD的AIO控制系統會通過真空泵的自動啟停來維持用戶設定的管內真空度,使成膜效果達最佳的均勻性。
2. AIO控制系統——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統控制集中于一個7英寸觸摸屏進行統一集中調節和操控,協調控制——成儀AIO控制系統;
3. 射頻功率的定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間,自動運行;
4. 爐膛移動速度可調——根據實驗要求,用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離,在沉積結束后爐膛可自動移開沉積區,使樣品快速冷卻;
5. 整機結構融為一體——整機長度只有1.5米,移動方便,避免分散組裝的困擾。
加熱爐部分: | |
爐膛模式: | 開啟式可移動爐膛 |
顯示模式: | 7英寸觸摸屏 |
極限溫度: | 1200℃ |
工作溫度: | ≤1150℃ |
升溫速率: | 建議10℃/Min Max:30℃/Min |
爐體移動: | 有,速度可調 |
單溫區長度: | 主溫區長度:200mm(可選配氣體預熱部分) |
爐管規格: | 60*1150 mm |
控溫精度: | ±1℃ |
密封方式: | 快速法蘭密封 |
溫度曲線: | 30段"時間—溫度曲線"任意可設 |
預存曲線: | 可預存15條溫度曲線 |
超溫報警: | 有 |
過流保護: | 有 |
斷偶提示: | 有 |
測溫元件: | K型熱電偶 |
爐膛材料: | 氧化鋁纖維 |
外形尺寸: | 1500*600*1000MM |
信號頻率: | 13.56 MHz±0.005% |
功率輸出范圍: | 5W-300W |
功率穩定度: | ±0.1% |
整機效率: | >=70% |
功率因素: | >=90% |
冷卻方式: | 強制風冷 |
真空部分: | |
功率: | 500W |
抽氣速率: | 2Ls |
極限真空: | 4X10-2Pa |
氣路系統: | |
1~3路質量流量計可選(七星華創): | |
準確度:±1.5%: | |
重復精度:±0.2%: | |
工作壓差范圍:0.1~0.5 MPa: | |
整機系統特色: | |
正壓測量: | -100Kpa---100Kpa |
真空測量: | 10-2Pa ~100Kpa(支持Ar測量) |
正壓保護: | 支持 |
壓力恒定: | 支持 |
智能氣路: | 支持 |
氣路定時: | 支持 |
射頻工作時間設定: | 支持 |
移動速度調節: | 支持 |